Opis produktów

Półprzewodnikowy pierścień ceramiczny to-specjalistyczny element ceramiczny o wysokiej wydajności stosowany w krytycznych etapach procesów produkcyjnych półprzewodników. Zwykle jest wykonany z precyzyjnych materiałów ceramicznych o-czystości i-dużej gęstości i ma okrągłą strukturę pierścieniową. Służy jako kluczowa część eksploatacyjna w komorach reakcyjnych sprzętu półprzewodnikowego wykorzystywanego w procesach takich jak dyfuzja, utlenianie, chemiczne osadzanie z fazy gazowej (CVD) i trawienie.

Jego podstawowe funkcje obejmują podtrzymywanie płytek krzemowych (lub tworzenie określonego środowiska gazów procesowych i jednolitych pól przepływu), a jednocześnie wytrzymywanie ekstremalnych warunków pracy,-w tym wysokich temperatur, silnie korozyjnych gazów, bombardowania plazmowego i szybkich cykli termicznych. Dlatego jego wydajność bezpośrednio wpływa na stabilność procesu, jednorodność, kontrolę zanieczyszczeń cząstkami stałymi i ostatecznie na wydajność końcowego produktu w postaci chipów.

Semiconductor Ceramic Rings

szczegóły produktu

Nazwa produktu	Półprzewodnikowy pierścień ceramiczny
Kolor	Dopasowane do wymagań klienta
rozmiar	Dopasowane do wymagań klienta
Opakowanie	Karton / paleta / skrzynia drewniana (zgodnie z wymaganiami klienta)
Czas dostawy	Produkt standardowy-W ciągu 3 dni
Projektowanie przedmiotów	Według rysunku klienta lub próbek
Cechy	Dobra jakość, niska cena, wiele fabryk, dostawa do Ciebie w oparciu o tę najbliżej Twojej lokalizacji
Aplikacja	Ceramika Przemysłowa
Certyfikat	ISO, CE

Kluczowa charakterystyka wydajności

Materiał o wysokiej czystości

Wybór surowców ceramicznych-o wysokiej czystości skutecznie ogranicza wpływ zanieczyszczeń na proces produkcji półprzewodników. Półprzewodnikowe pierścienie ceramiczne są zwykle wykonane z-materiałów ceramicznych o wysokiej czystości, takich jak tlenek glinu, azotek krzemu itp. Mają wyjątkowo wysoką twardość i są w stanie wytrzymać naprężenia mechaniczne podczas przetwarzania, skutecznie zapewniając stopę plastyczności i stabilność działania chipa.

Doskonała odporność na wysoką temperaturę

W złożonym przebiegu procesu produkcji półprzewodników wiele kluczowych etapów procesu, takich jak dyfuzja i wyżarzanie, należy przeprowadzać w trudnych-środowiskach o wysokiej temperaturze. Półprzewodnikowy pierścień ceramiczny wykazał się pod tym względem niezwykłą wydajnością i może wytrzymać wysokie temperatury rzędu setek, a nawet tysięcy stopni. Nawet w tak ekstremalnie wysokich temperaturach półprzewodnikowy pierścień ceramiczny może nadal zachować dobrą wytrzymałość mechaniczną i integralność strukturalną. Co więcej, niezależnie od szybkich zmian wysokiej lub niskiej temperatury, półprzewodnikowy pierścień ceramiczny nie będzie wykazywał żadnych niekorzystnych warunków, takich jak odkształcenie, pękanie czy zmiękczenie. Zapewnia to solidne i niezawodne wsparcie dla płynnego przebiegu-procesów wysokotemperaturowych w produkcji półprzewodników, znacznie poprawiając jakość i wydajność chipów.

Doskonała stabilność chemiczna

Półprzewodnikowe pierścienie ceramiczne charakteryzują się doskonałą stabilnością chemiczną, doskonałą odpornością na korozję na różne chemikalia i mogą pozostać stabilne w trudnych warunkach przetwarzania, zapewniając czystość i niezawodność procesu produkcji chipów.

Precyzyjna kontrola rozmiaru

Proces produkcji półprzewodnikowych pierścieni ceramicznych pozwala osiągnąć niezwykle wysoką dokładność wymiarową. Parametry półprzewodnikowego pierścienia ceramicznego, takie jak średnica wewnętrzna, średnica zewnętrzna, grubość i płaskość powierzchni, można precyzyjnie kontrolować w ramach wyjątkowo małych tolerancji. W sprzęcie do produkcji chipów to precyzyjne dopasowanie wymiarów ma kluczowe znaczenie. Półprzewodnikowy pierścień ceramiczny może doskonale współpracować z innymi komponentami, takimi jak płytki, elektrody, komory reakcyjne itp., aby zapewnić równomierny przepływ gazów i cieczy procesowych oraz równomierny rozkład pól fizycznych, takich jak pola elektryczne i magnetyczne, poprawiając w ten sposób jednorodność i powtarzalność procesu produkcji chipów oraz pomagając w osiągnięciu-dużej skali, wysokiej-wydajności i wysokiej- jakości produkcji chipów.

Dobra wydajność izolacji elektrycznej

Półprzewodnikowe pierścienie ceramiczne mają doskonałe właściwości izolacji elektrycznej i wytrzymują wysokie napięcia bez awarii. Ta funkcja umożliwia półprzewodnikowym pierścieniom ceramicznym odgrywanie roli izolującej i izolującej w kluczowych miejscach, takich jak układ elektrod i części połączeń obwodów sprzętu do produkcji chipów, zapewniając bezpieczeństwo i stabilność układu elektrycznego podczas procesu produkcji półprzewodników oraz unikając uszkodzeń chipów lub wypadków produkcyjnych spowodowanych problemami elektrycznymi.

Aplikacja rynkowa

Półprzewodnikowe pierścienie ceramiczne są stosowane głównie w trzech głównych obszarach produkcji układów scalonych: dyfuzji/obróbce termicznej, chemicznemu osadzaniu z fazy gazowej (CVD) i trawieniu na sucho (Etch).

Procesy dyfuzji/utleniania/LPCVD

W-rurach pieca wysokotemperaturowego pierścienie ceramiczne (często określane jako „łopatki do łodzi” lub „łodzie”) służą do poziomego lub pionowego układania i podtrzymywania wielu płytek krzemowych. Muszą zapewnić równomierne ogrzewanie i warunki wolne od-zanieczyszczeń wszystkich płytek w temperaturach do 1200 stopni. Pierścienie ceramiczne z tlenku glinu są szeroko stosowane w takich zastosowaniach.

Procesy chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD).

W komorach reakcyjnych CVD pierścienie ceramiczne służą jako susceptory lub wykładziny komór, podtrzymujące płytki i optymalizujące pola przepływu gazu reakcyjnego. Ich równomierne przewodnictwo cieplne ma kluczowe znaczenie dla uzyskania spójnego osadzania folii. Pierścienie ceramiczne z azotku glinu są szeroko stosowane w tej dziedzinie ze względu na ich doskonałą przewodność cieplną.

Procesy trawienia na sucho

Jest to jedno z najbardziej wymagających zastosowań pierścieni ceramicznych. W komorach trawienia wypełnionych-plazmą wysokoenergetyczną i gazami korozyjnymi pierścienie ceramiczne pełnią funkcję pierścieni ogniskujących, pierścieni ograniczających lub wykładziny komór. Ich podstawową rolą jest kontrolowanie równomierności dystrybucji plazmy, ochrona metalowych ścian komory przed korozją i redukcja zanieczyszczeń cząstkami stałymi.Pierścienie ceramiczne z tlenku itru (Y₂O₃).stały się preferowanym wyborem w przypadku zaawansowanych procesów trawienia ze względu na ich niezrównaną odporność na erozję plazmową-na bazie fluoru.

Inne zastosowania pomocnicze

Mogą również służyć jako elementy izolacyjne w systemach pomiarowych lub przesyłowych lub jako pierścienie ograniczające w robotyce do transportu płytek

Wydajność produktów

Numer	Wydajność	Jednostka	Azotek glinu
			Azotek glinu
			JC-AN-210	JC-AN-170
1	Gęstość	g/cm3	3.32~3.34	3.31~3.33
2	Wytrzymałość na zginanie	MPa	340~360	400~420
3	Odporność na pękanie	MPa·m1/2	3.35	3.35
4	Stała dielektryczna	εr(20 stopni, 1 MHz)	8.8~9.0	8.7~8.9
5	Twardość	GPa	12-16
	Twardość	HRC	75-80
6	Rezystywność objętościowa	Ω·cm(20 stopni)	10 10	10 10
7	Moduł sprężystości	GPa	310	320
8	Współczynnik rozszerzalności cieplnej	×10-6/k	4.8~5.0	4.5~4.7
9	Wytrzymałość na ściskanie	MPa	2100	2000
10	Otarcia	g/cm2	0.01	0.01
11	Przewodność cieplna	W/m×k (20 stopni)	200~220	160~180
12	współczynnik Poissona	/	0.24	0.24
13	Wytrzymałość izolacji	kv/mm	26~28	30~32
14	Temperatura	stopień	2500	2500

kontrola jakości

Ściśle przestrzegając Systemu Zarządzania Jakością ISO 9001, wdrażamy pełną-kontrolę jakości procesu, aby zapewnić stałe dostarczanie produktów wysokiej-jakości:

• 100% kontrola surowców, gwarantująca jakość u źródła
• Wykorzystanie zaawansowanych linii produkcyjnych-prasowania na gorąco w celu zapewnienia stabilnych i niezawodnych procesów
• Kompleksowy-wewnętrzny system testowania obejmujący analizę gęstości, twardości i mikrostruktury
• Dostępność-autorytatywnych certyfikatów innych firm (w tym SGS, CE, ROHS itp., udostępnianych na żądanie)

Pozostajemy zaangażowani w ciągłe doskonalenie naszego systemu zarządzania, zapewniając klientom konsekwentną i niezawodną gwarancję produktu.

certificate

dlaczego wybrać nas

Jesteśmy profesjonalnym producentem i dostawcą różnych pierścieni ceramicznych półprzewodników. Posiadamy profesjonalną fabrykę i zespół do produkcji pierścieni ceramicznych półprzewodników. Ponadto specjalizujemy się w pierścieniach ceramicznych półprzewodników i mamy firmę w Stanach Zjednoczonych. Szczerze mówiąc, zapewniamy dość profesjonalną i rzetelną obsługę. Jeśli potrzebujesz wysokiej-jakości pierścienia ceramicznego półprzewodnikowego lub innych producentów ceramiki, a także długoterminowych-partnerów zagranicznych, skontaktuj się z nami. Obsługujemy wszelkie dostosowania-o wysokim stopniu trudności i postaramy się jak najlepiej spełnić Twoje potrzeby.

Jeśli masz pytania dotyczące uchwytu ceramicznego, możesz kliknąć naszSkontaktuj się z naminatychmiast, pojawi się profesjonalna obsługa klienta, która odpowie na Twoje pytania.
Nie mogę się doczekać Twojej wizyty!