Opis produktów
Półprzewodnikowe dysze ceramiczne służą jako krytyczne precyzyjne komponenty w sprzęcie do wytwarzania płytek półprzewodnikowych (w przypadku wytrawiaczy, systemów chemicznego osadzania z fazy gazowej i implantatorów jonowych). Ich podstawową funkcją jest precyzyjne prowadzenie, dystrybucja i kontrola gazów procesowych (lub gazów reaktywnych) i plazmy, kierując je do interakcji z powierzchniami płytek krzemowych w ramach określonych wzorców przepływu i stanów energetycznych. Umożliwia to procesy obejmujące osadzanie-cienkiej warstwy, wytrawianie wzorów i modyfikację powierzchni.
Wydajność produktu
- Wyjątkowa odporność na zużycie i wydłużona żywotność: materiały ceramiczne charakteryzują się wyjątkowo wysoką twardością (np. ceramika z tlenku glinu 995 przekracza Hv1500, a ceramika z tlenku cyrkonu jest równie znakomita), skutecznie przeciwstawiając się długotrwałemu-ścieraniu przez cząstki stałe w zawiesinach, takich jak fotomaska i roztwory do polerowania.
- Wyjątkowa odporność na korozję chemiczną: wykazują wyjątkową tolerancję na rozpuszczalniki w fotomaskach, mocne kwasowe/alkaliczne roztwory czyszczące, reaktywne gazy i inne środki korozyjne, nie wykazując rdzy ani degradacji chemicznej nawet po długotrwałym użytkowaniu.
- Doskonała stabilność termiczna i wymiarowa: dzięki wyjątkowo niskiemu współczynnikowi rozszerzalności cieplnej ceramika utrzymuje stały kształt i wymiary porów na poziomie mikronów-, a nawet nanometrów-, nawet przy wahaniach temperatury procesu.
- Wysokie wykończenie powierzchni i niskie zanieczyszczenie: spiekane elementy ceramiczne umożliwiają uzyskanie lustrzanego-wykończenia dzięki precyzyjnej obróbce ceramiki. Ich powierzchnie są odporne na przyleganie cząstek,-niemagnetyczne i łatwe do czyszczenia.
- Doskonała izolacja i właściwości funkcjonalne: Ceramika jest doskonałym izolatorem. Tlenek glinu zapewnia wyjątkową wydajność izolacyjną, powszechnie stosowaną w izolatorach z tlenku glinu i izolacyjnych płytach ceramicznych ZrO₂. Ceramika z azotku glinu wykazuje również wysoką przewodność cieplną, odpowiednią do zastosowań o specjalnych wymaganiach dotyczących kontroli temperatury.
Aplikacja produktów
- Wytrawiacz plazmowy: Działa jako głowica natryskowa gazowa lub dysza boczna, aby równomiernie rozprowadzać gaz trawiący.
- Sprzęt do chemicznego osadzania z fazy gazowej: W procesach PECVD i ALD równomiernie wprowadza gaz prekursorowy do komory reakcyjnej.
- Implantator jonów: Służy do prowadzenia i formowania wiązki jonów.
- Piec dyfuzyjny: Służy jako dysza wtrysku gazu.
Kontrola jakości
Ściśle przestrzegamy systemu zarządzania jakością ISO 9001, aby zapewnić spójność:
- 100% kontrola surowca
- Zaawansowane linie produkcyjne-prasowania na gorąco
- Testy wewnętrzne: gęstość, twardość, analiza mikrostruktury
- Certyfikaty-stron zewnętrznych (SGS, CE, ROHS dostępne na żądanie)
Certyfikaty i wyróżnienia
Posiadamy zaawansowaną wiedzę techniczną m.in. w zakresie procesów spiekania, formowania, szlifowania, obróbki CNC, wiercenia laserowego, szlifowania i polerowania. Dostosowujemy różne produkty ceramiczne zgodnie z wymaganiami klienta.
siła fabryczna
Stosujemy metody i techniki naukowe w całym procesie projektowania i wytwarzania produktów lub projektów, aby zoptymalizować i ulepszyć ich strukturę, wydajność i przepływy pracy w oparciu o wymagania klienta. Proces ten ma na celu rozwój technologii, poprawę jakości produktów i obniżenie kosztów produkcji.
Popularne Tagi: półprzewodnikowa dysza ceramiczna, producenci półprzewodnikowych dysz ceramicznych, dostawcy, fabryka, przewodząca dysza ceramiczna, Krzemowa węglika Chuck
